蔡司电子显微镜在低真空的应用

蔡司电镜在失效分析中，除了金属样品外，还有很多非金属样品，这些样品导电性很差。要分析这些非导电样品，样品的充电是不可避免的。由于电子束打到样品上使样品带电，其产生的电场影响了二次电子的产生和接收，使图像上呈现一片片亮的或暗的区域，无法进行正常观察。要对这些非导电样品进行分析，就必须排除样品充电的影响。其方法之一就是将样品上的电荷中和掉。ZEISS扫描电镜所采取的措施是：使样品室处于低真空状态，样品表面所产生的二次电子与样品室中的气体分子相碰撞，使气体电离，这些气体离子附着于样品表面，将样品上所带的电荷中和掉。使用专用的探测器，接收二次电子与气体分子相碰撞时产生的光子，这些光子也就代表了二次电子信号，使成像不受样品导电性的影响，在分析这些样品时能够得到理想的成像。

ZEISS扫描电镜对于一些含水、含油的样品，可以采用更低的真空度，使水分在该压力、温度下不至于挥发，这样便可观察到真实的生物样品形貌。